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射頻探頭站系統（HO-PSS-RF-02）
閱讀：99 發布時間：2024-11-12 規格
高頻微型機械手 - 左/右 = 2 個
100 TPI XYZ 驅動器
真正的線性運動，精細 XYZ 控制
精細控制裝置位于機械手后部，易于操作
移動范圍（X/Y/Z）= 0.5“ x 0.5" x 0.5"
適用于 > 1 微米的幾何形狀
XYZ 平臺的精度 = 10 微米
磁性底座
直式配置，適合左右放置機械手
支持不同的射頻測座（GSG、GS、SG）
平面度（滾動）調整范圍 = +/- 5 度
平面度（滾動）調整分辨率 = 每旋轉一度 0.005 度
Theta（偏航）調整范圍 = +/- 5 度
Theta（偏航）調整分辨率 = 每旋轉一度 0.005 度
微波頭適配器（客戶必須提供微波探頭的詳細信息。微波探頭不在供貨范圍內）
選配
1. LWD Plan Apo 50 倍顯微鏡物鏡
NA = 0.50
工作距離 = 17 毫米
目鏡視場角 = 0.4 毫米
相機視場角 = 0.114 毫米 x 0.0856 毫米
分辨率 = 0.6 微米
2. LWD Plan Apo 20 倍顯微鏡物鏡
NA = 0.35
工作距離 = 29 毫米
目鏡視場角 = 1 毫米
相機視場角 = 0.285 毫米 x 0.214 毫米
分辨率 = 1 微米
帶熱敏真空吸盤的 XYZ 樣品平臺
樣品臺頂板 = 50 mm x 50 mm
X 軸行程 = 25 毫米
YZ 軸行程 = 10 mm
XYZ 軸驅動 = 100 TPI 引線螺桿
通過壓盤升降實現 25.4 mm Z 軸范圍
溫度范圍 = RT - 250oC
冷卻 - 熱電冷卻與水冷冷卻器結合使用
冷卻溫度低于環境溫度約 -10oC 或更接近環境溫度
溫度增量步進 = 1 度
電纜和探頭應隔熱
真空泵
溫度和真空泵需要手動和軟件控制
探針站 雙目顯微鏡
探針站 雙目顯微鏡及其支架 = 1 套
光學系統 = 無限校正
觀察方法 = 明視野
照明 = 反射（同軸和成角）
照明系統 = 高亮度白色 LED，可通過軟件調節強度
鼻托 = 旋轉式，四重，帶精確的單擊停止裝置
觀察頭 = Siedentopf 三目觀察頭，30 度
IP 調整 = 48 - 75 毫米
目鏡 = 10 倍寬視場目鏡，FN = 20 毫米，度數可調
調焦 = 手動