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Sievers Boron Ultra超純水硼分析儀:新功能

閱讀:119      發布時間:2025-03-05
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Sievers Boron Ultra在線型UPW硼分析儀是新一代的超純水(UPW,Ultrapure Water)硼分析儀,能檢測萬億分之一(ppt)的溶解硼濃度。Boron Ultra分析儀是市面上僅有的一款實時在線型硼分析儀,幫助許多微電子制造商和超純水系統擁有者連續監測硼控制工藝,滿足“國際器件與系統路線圖(IRDS,International Roadmap for Devices and Systems)"有關超純水的規格要求(即50 ppt)。

Sievers Boron Ultra分析儀能夠檢測到二氧化硅釋放前硼的增加,有助于防止二氧化硅泄漏到超純水中。此款分析儀能夠主動檢測到從工藝(如混合樹脂床離子交換工藝和電子去離子化工藝)中釋放出來的二氧化硅和其它離子污染物,從而幫助用戶提高有效產出和降低離子交換工藝成本。

本文件介紹新款Sievers Boron Ultra的主要亮點,以及與舊款硼分析儀的比較。


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威立雅Sievers分析儀

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