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PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機產品特點：
• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性與可重復性
• 靈活的電極結構設置與優化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性
• PLC與工控機提供穩定的過程控制，設備運行的實時參數通過顯示屏直觀呈現
• 系統穩定可靠，易于保養與維護
標準腔體電極為平行板電極結構，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持擴展至8片電極
每對電極間為獨立空間
批處理電極改變了標準的平行板電極結構
通過優化的電場和進氣設計實現對magazi和boat等載具內產品的均勻處理。
PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機應用：
• 表面清潔與活化
• 表面有機污染物與金屬氧化物的去除
• 增強表面膠體流動性，消除涂層分層
• 提升表面能，實現難粘材料的有效結合
• 表面粗化及微刻蝕
• 納米級表面粗化，應力釋放
• 光刻膠、殘膠的去除
• 對多種材料的選擇性刻蝕
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