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　　超純水制取設備工藝流程：原水—超濾(多介質過濾器、活性炭過濾器)—反滲透—EDI—超純水

　　滲透/電去離子（RO/EDI）集成膜技術是近年來迅速發展成熟，并得到大規模工業應用的一代超純水制造技術，在上已逐漸成為純水技術的主流。RO/EDI的集成膜技術在電子企業用水，實驗室純水系統，電廠用水等方面具有*的優勢。

　　自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入EDI單元，達到電阻率15MΩ.cm（25℃）進入純水水箱。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床、0.22微米過濾器接入純水供水管，到達使用點。

　　1.1預處理單元

　　采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的預處理。

　　1.2膜系統單元

　　膜系統單元是本系統的核心，負責去除水中大部分的有害物質，保證終端產水達到標準要求。本設計中采用輔以pH值調節的兩級反滲透作為初級脫鹽工藝，EDI模塊作為深度脫鹽工藝。

　　1.2.1反滲透模塊

　　反滲透膜是以壓力差為驅動力的液相膜分離方法，可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動下，溶液中的水分子透過膜，而其它分子、離子、細菌、病毒等被截留，從而實現脫鹽效果，達到純化目的。

　　整個反滲透系統由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道及管件等組成；此外還有獨立的化學清洗裝置。

　　1.2.2EDI模塊

　　EDI技術是將膜法和離子交換法結合起來的新工藝，基本原理主要包括離子交換、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上，再在電場作用下經由樹脂顆粒構成的“離子傳輸通道”遷移到膜表面并透過離子交換膜進入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發生，猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱，因此可以連續不斷地制取高質量的純水、高純水。

　　EDI系統由增壓泵、膜堆、電源以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道等組成。

　　1.3供水單元

　　純水供水循環采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米過濾，達到用戶的純水水質要求。

　　為保證純水的品質以及生物學指標，在純水制備的終端設置精度為0.22μm的微濾膜過濾器，用于截留去除脫鹽設備出水中的微粒以及細菌尸體。由于0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個脫鹽工藝的zui后一道處理設備，因此又稱終端過濾器。過濾器內裝折疊式微孔濾膜，過濾精度0.22μm，過濾器出口設置壓力表。過濾器經過一段時間的運行后，濾膜表面截留了大量雜質，使濾膜堵塞，導致工作壓力增加，當進出口壓力差增大到某一設定值時，更換濾膜。

　　終端過濾器由罐體、0.22μm濾芯、壓力表組成。

　　1.4主要設備

　　主要設備：原水箱、原水增壓泵、砂濾器，炭濾器罐體、多路閥、阻垢劑計量泵、阻垢劑(氨基*叉膦酸ATMP)藥罐、保安過濾器、保安過濾濾芯、一級RO高壓泵、一級RO膜、二級RO高壓泵、二級RO膜、膜殼、PH值調整計量泵、EDI增壓泵、EDI模塊、超純水水箱、純水增壓泵、拋光混床罐、拋光樹脂、0.22微米過濾器、0.22微米濾芯等。