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上海殷德電氣有限公司
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Metrology Sensors GmbH開發(fā)和制造尖duan技術(shù)，以提高顯微鏡自動化和AOI系統(tǒng)的吞吐量和質(zhì)量。MSG的解決方案包括用于2D和3D表面的高速自動對焦系統(tǒng)、尺寸測量傳感器、電機(jī)控制和光電組件。MSG的技術(shù)應(yīng)用于各種行業(yè)，包括半導(dǎo)體、晶圓和電子產(chǎn)品的自動光學(xué)檢測、顯示檢測和修復(fù)系統(tǒng)以及生物醫(yī)學(xué)視覺系統(tǒng)。
MSG為其發(fā)揮的關(guān)鍵作用感到自豪，無論是在基礎(chǔ)研究、提高生產(chǎn)效率還是通過直接向最終用戶提供解決方案進(jìn)行質(zhì)量檢查，還是為OEM供應(yīng)商提供嵌入式技術(shù)。
◆自動對焦傳感器: 基于激光的焦點(diǎn)跟蹤系統(tǒng)
LAF傳感器旨在實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實(shí)時(shí)焦點(diǎn)跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導(dǎo)體的AOI系統(tǒng)
我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)以下焦點(diǎn)跟蹤：
無圖案表面
具有高對比度變化的圖案表面
具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)
獨(dú)te功能：
混合激光/圖像跟蹤
三明治基板的多表面聚焦
自動設(shè)置
參考型號: LAF4、LAF5、LAF5-CH
◇LAF5直線激光自動聚焦跟蹤系統(tǒng)：
用于自動光學(xué)檢測（AOI）系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動聚焦和跟蹤
傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上
適用于放大倍率為2倍至100倍的無限校正透鏡，可見光、近紅外、NUV、DUV
UI界面和軟件庫
◆電機(jī)驅(qū)動器接口：
為了能夠?qū)?span>MSG的自動對焦傳感器快速簡單地集成到現(xiàn)有的機(jī)器設(shè)計(jì)中，MSG為步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)驅(qū)動器提供了優(yōu)化的控制，以實(shí)現(xiàn)最佳性能的閉環(huán)系統(tǒng)。
LAF-C2電機(jī)接口
LAF-C3電機(jī)接口與照明端口
◇LAF-C2用于LAF自動聚焦和跟蹤傳感器的步進(jìn)/伺服電機(jī)驅(qū)動接口
單個(gè)連接到LAF傳感器，從MSG自動對焦到您的機(jī)器的所有連接都通過LAF-C2
雙向脈沖輸出電流源，用于驅(qū)動步進(jìn)/伺服驅(qū)動器的光隔離器
高質(zhì)量聚焦信號的模擬輸出
可選：
模擬輸出給出距離信號或
具有未來的可配置速度信號
固件發(fā)布（控制伺服驅(qū)動器）
限位開關(guān)和安全停止的輸入
RS232，用于與PC進(jìn)行傳感器通信
◇LAF5S-C2：1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進(jìn)/伺服驅(qū)動控制器。
德國MSG、MSG傳感器、MSG伺服驅(qū)動器、MSG控制器、
