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氧化鋯分析儀是通過與氧化鋯探頭相匹配，氧化鋯探頭將模擬氧量信號轉變為數字信號，送到氧化鋯氧量分析儀處，氧化鋯氧量分析儀通過監測處理數字信號，顯示實時氧量。
被測氣體(煙氣)通過傳感器進入氧化鋯管的內側，參比氣體(空氣)通過自然對流進入傳感器的外側，當鋯管內外側的氧濃度不同時，在氧化鋯管內外側產生氧濃差電勢(在參比氣體確定情況下，氧化鋯輸出的氧濃差電勢與傳感器的工作溫度和被測氣體濃度呈函數對應關系)該氧濃差電勢經顯示儀表轉化成與被測煙氣含氧量呈線性關系的標準信號，供RHO儀表顯示和輸出。
高溫抽氣取樣式氧化鋯分析儀用于強腐蝕性煙氣，溫度可達600-1400℃
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