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三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡，三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨

三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 ，三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨

WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡ss001.jpg

WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡ss002.jpg

WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡ss003.jpg

三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 ，三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨

產品特點與優白光干涉光學顯微
● 實現非接觸式3D表面形狀測量和輪廓測量
可利用白光干涉原理實現非接觸式高精度細微表面性狀測量
（例如：3D形狀測量、3D粗糙度測量）
● 不依賴于光學倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進行測量
● 高縱橫比測量
不依賴于光學系統的NA進行檢測，支持高縱橫比形狀測量
● 抗干擾震動的高穩定性
● 小型輕便

三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 ，三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨

產品陣容
型號           Z向移動范圍    Z向分辨力
WLI-Unit-003   8000μm        -
WLI-Unit-005   8000μm        4nm
WLI-Unit-010   8000μm        4nm

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