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GC8800系列高純氣雜質PDHID分析氣相色譜儀
高純氦雜質分析
H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 zui小檢測量優于 20ppb
高純二氧化碳雜質分析
H2，O2，Ar，N2，CH4 zui小檢測量優于 20ppb
高純氫雜質分析
N2，H2，CH4，CO2，COzui小檢測量優于 20ppb
下列儀器關鍵部件均由美國VICI等公司進口
高純氣雜質PDHID分析氣相色譜儀
PDHID檢測器
氦氣純化器
流路系統
樣品過濾器
色譜柱
GC8800系列高純氣雜質PDHID分析氣相色譜儀
GC8802
SF6雜質單柱PDHID分析
色譜儀
分析SF6中CO,CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8
GC8800系列
GC8803
含氟氣體分析色譜
一次進樣后完成全分析
檢測器：高靈敏度、耐腐蝕的TCD
進樣：VICI自動采樣閥技術
采樣：無死體積采樣或在線采樣
樣方式，一次性完成常見雜質檢測，重復性：RSD≤1％。
檢出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm
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