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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統

閱讀:383        發布時間:2019-8-21

簡要描述:

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度!
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統

同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度!

NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。

特點

  • 平整度測量例

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  • 邊緣排除區1mm

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  • 邊緣排除區3mm

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  • 放射狀測量數據

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  • 邊緣滾降分析

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  • 邊緣鳥瞰圖、截面圖

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<Edge Roll-off分析>
根據表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結果,提供符合客戶需求的分析軟件。

性能、規格

項目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程φ300mmφ200mm
顯示分辨率1nm
測頭非接觸激光位移計
測量方式縱向旋轉方式

日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統

產品按照標準和生產,產品可滿足用于石化、電廠等行業,同時根據不同的產品也適用于其他行業,改進和擴大提高了自己的產品供給,公司生產的測量系統,受到了本國和國內外客戶以及市場的青睞,*設計,壽命超長,性能穩定,密封性強,精密鑄造,外觀精美。性質穩質,包裝優良。

 伊里德代理工KURODA硅片平整度測量系統等產品,價格合理,使用范圍廣,部分常規型號有現貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務。請您詢問時請備注貴公司營業執照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號數量發給我們。我們將按順序時間給您回復報價,歡迎惠顧

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