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從精度等級的劃分來說，大理石平臺可以分為三個精度等級，即0級、00級、000級，普通專的大理石平臺屬都為0級精度，像一塊300*300的大理石平臺，多精度000級的精度誤差在1.5微米，00級在3微米，0級的在6微米算是比較高的量具。雖然大理石平臺的精度很高，但是對于使用也是有要求的，像000級的大理石平臺必須在恒溫、無塵、無震動的車間生產，也需要在這種條件下使用，因為運輸途中是不滿足這個條件的，所以000級的大理石平臺需要到使用方的恒溫車間進行加工。