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產品簡介：
共面性尺寸測量儀通過線激光對芯片有焊錫球及的表面，或者IC上的引腳面進行掃描，采集出三維點集數據，并由軟件處理生成工件的3D圖形，通過軟件算法提取3D圖中每個焊錫球的高點或者低點，再用所有高點或者低點生成一個平面，并計算出平面度值即為焊錫球或者引腳共面性。設備采用固定龍門式XYZ三軸運動結構，內部主體框架為大理石，可以保證穩定的力學結構。托盤和被測工件可放在工作臺玻璃上，前后運動至測量區域，線掃激光頭和視覺物鏡組合體可以沿著左右運動掃描測量，并可以上下調焦以便適應不同高度面的測量。
產品應用：
器件引腳共面性檢測儀廣泛應用于晶元、芯片（DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、LGA、PGA）等共面性檢測，機械制造、電子、汽車、五金、塑料、模具等行業，可以對工件尺寸、形狀和位置公差進行精密檢測，從而完成自動拾取、自動分選、零件檢測、外形測量、過程控制等任務。
測量原理及功能：
共面性尺寸測量儀首先，通過影像測量模塊識別產品外形邊緣并建立測量基準坐標系，進而實現對目標產品基本平面尺寸的測量，包含對異形產品整體外形輪廓掃描（例如：密封圈）。其次，使用3D線掃激光傳感器，對目標產品表面進行大面積整體區域掃描，采集出產品表面三維點云數據，并由軟件處理生成工件表面3D趨勢圖形，再通過軟件特定功能算法，提取3D趨勢圖中特定抽樣特征群體位置的高度極大值，進而可以求出產品自身平面度、共面性、曲翹度等特性。測量軟件支持通過二次開發對內部MES生產系統，實現將測量設備關鍵測量數據集中上傳至MES服務器，方便客戶在MES端集中篩選、查詢，也更便于客戶進行檢測數據統一管理及歷史追溯;配備手動掃描槍，掃描各種加工產品的信息，并錄入MES.
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