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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數據，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠實現納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。
技術參數
型號：PZ-Mico D
測試技術： 3D相干掃描干涉法，抗震算法，移相干涉法
光源：固態白光光源，軟件控制切換光譜（VSI和PSI）
掃描裝置：精密壓電陶瓷驅動，閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷
像素分辨率：1280X1024
視場： 10倍范圍1200X950
縱向掃描范圍：25mm
橫向分辨率：0.05-2.68µm
軸向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm
臺階高度精度（示值誤差）±0.1nm（5µm標準臺階）
臺階高度重復性：0 . 1％1σ（5µm標準臺階
粗糙度 RMS 2
粗糙度RMS重復性:0.01nm
被測樣品反射率：0.05%-100%
Z軸：電動Z平臺100mm，1μm分辨率）
位移臺：電控平臺移動范圍XY:100x100mm
產品細節
應用范圍
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