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S neox-3D光學輪廓顯微鏡
  • S neox-3D光學輪廓顯微鏡
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貨物所在地:北京北京市

地: 西班牙

更新時間:2025-03-10 10:31:32

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3D光學輪廓顯微鏡使用光學輪廓儀,其共聚焦部分的主要是有著發光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設備。干涉光學系統和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關鍵。這項技術對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術的組合為輪廓儀提供了應用領域。

 產品特點:

3D光學輪廓顯微鏡特點:
一款*的3D光學測量儀
整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統的功能。
LED環形燈的設計,使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等

3D光學輪廓顯微鏡S neox的主要技術參數:
位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
樣品表面結構:表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結構
樣品高度:100mm ~ 345mm
樣品重量:30kg。
水平分辨率:0.44µm
垂直分辨率:10nm
掃描高度:22.5mm
擴展視野范圍:10000mm2
單一方向掃描范圍:100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度:0.01µm
測量高度:22.5mm
測量范圍:10000mm2
測量形貌長度:100mm
小可重復性:0.001µm
小測量粗糙度(Ra):0.03µm
小測量粗糙度(Sa):0.015µm
小測量半徑:1µm
小測量垂直角度:20°
大測量傾斜角度:87°

 

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