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產品簡介：Micro-Vu的高精度視覺量測系統具有的功能性，可被應用在各種量測的需求的機構設計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機電整合技術，運用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉換及報表輸出變得容易操作與上手，InSpec提供免費升級的光源系統提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
Micro-Vu 非接觸三坐標測量儀規格參數：
技術參數 | Model | 501 UC | 502 UC |
實體特性 | 測量范圍 | 400mm×500mm×150mm | 400mm×500mm×250mm |
儀器外觀尺寸 | 1100mm×1200mm×1550mm | 1100mm×1200mm×1650mm | |
凈重 | 860kg | 900kg | |
X,Y軸速度 | 700mm／s | 700mm／s | |
X,Y軸加速度 | 1400mm／s² | 1000／s² | |
Z軸速度 | 100mm／s² | 100mm／s² | |
Z軸加速度 | 450mm／s² | 450mm／s² | |
光柵尺分辨率 | 0.1μm | ||
X,Y軸準確度 | 2.5+L／200μm | 2.8+L／200μm | |
Z軸準確度 | 2.5+L／100μm | 3.0+L／100μm | |
變焦鏡頭（光學，數位） | 36x（12x，3x） | ||
放大倍率 | 15x -540x to 30x -1080x | ||
工作臺承重 | 100kg on Glass | ||
電源參數 | 輸入電壓 | 93-264 VAC | |
輸入電流 | 47-63 Hz | ||
環境參數 | 操作環境溫度 | 20℃±2.0℃ | |
靜置環境溫度 | -25℃-60℃ | ||
適當的溫度 | 30%-80% | ||
儀器噪音值 | <70dB(A) | ||
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