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大氣樣本是通過空氣采樣器正常收集，隨后通過一個石英過濾器或者過濾膜過濾。捕捉到的大氣灰塵，通常為微量水平，通過過濾器分離后,通過高靈敏度的電感耦合等離子體-原子發射光譜儀（ICP - AES）進行有害成分的分析。

 

島津ICP等離子體光譜儀

此儀器可同時對金屬及無機成分進行高靈敏度的分析，并支持從微量到高濃度樣品分析，同時還可進行研發分析，生產控制自動分析以及環境管理中的水質監測。

 

真空光室可對S, B, I, Al和其他在真空紫外線區域擁有超高靈敏度分析線的成分進行高靈敏度分析。由于不需要氣體吹掃，因此可減少氣體對流時的波動和污染。所需穩定時間短，并能確保長時間分析的穩定性。