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與單晶硅圓片接觸的空氣中含有從周邊材料，器械以及人身上散發(fā)出來(lái)的有機(jī)物。本例中，我們把一個(gè)8英寸的單晶硅圓片緊貼在晶圓加熱板上，然后收集單晶硅圓片表面散發(fā)出來(lái)的揮發(fā)性氣體，用島津氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)進(jìn)行分析。

 

塑料部件上產(chǎn)生了C12 (1-Dodecene), cyclic dimethylsiloxane (n=6), 和dicarboxylic acid ester。

 

 

 

氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀

加熱單晶硅圓片時(shí)，通過(guò)測(cè)定外圍氣體中的有機(jī)物譜圖，可以鑒定圓片上附著的有機(jī)物質(zhì)。取樣是通過(guò)一個(gè)外部氣體收集器完成的。本系統(tǒng)可做到ng級(jí)的定量。