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與硅片所接觸的材料，設備，人員等外界環境都包含有機化合物。在該實例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產生的揮發性氣體可以通過一臺GC-MS進行收集和分析。

 

通常，塑料材質的零配件會檢測出包含C12（1-十二碳烯）、環甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。

 

氣相色譜-質譜聯用儀

通過加熱晶圓片，分析有機物揮發出的氣體組分所對應的色譜圖，進而對附著于晶片的有機物進行定性分析。樣品可以通過一個氣體收集器進行采集。此檢測系統可以實現ng級樣品濃度的定量分析。