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華愛色譜參與六項芯片相關國家標準發布
近日,國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會正式發布六項與芯片制造相關的國家標準。上海華愛色譜分析技術有限公司作為全國氣體驗證平臺單位,深度參與了標準的制定工作,進一步推動我國電子特種氣體質量控制體系的規范化與系統化建設。
本次發布的標準包括:
GB/T 14600-2025《電子氣體 一氧化二氮》
GB/T 18867-2025《電子氣體 六氟化硫》
GB/T 26250-2025《電子氣體 砷化氫》
GB/T 14851-2025《電子特氣 磷化氫》
GB/T 14601-2025《電子特氣 氨》
GB/T 45133-2025《氣體分析 混合氣體組成的測定 基于單點和兩點校準的比較法》
這六項標準聚焦于集成電路制造過程中對電子工業氣體的核心需求,圍繞氣體組分類別、檢測限設定及分析方法規范等關鍵環節展開,對提升檢測結果的重復性與再現性、推動行業檢測技術標準化建設具有重要意義。
華愛色譜依托在高純氣體痕量分析領域的深厚積累,深度參與了標準中多個關鍵技術條目的制定與驗證,尤其在痕量雜質識別、檢測限確認和方法學評估等方面發揮了重要作用,為標準的科學性與可操作性提供了堅實支撐。