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技術(shù)文章

RTS-5型雙電測四探針測試儀應(yīng)用

閱讀:246          發(fā)布時(shí)間:2025-1-3

RTS-5型雙電測四探針測試儀應(yīng)用

   RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

    RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

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技 術(shù) 指 標(biāo) :    

 測量范圍

    電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴(kuò)展);
 方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴(kuò)展);
 電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm;
 電阻:0.0001~2000Ω.cm;
   

可測晶片厚度

    ≤3mm    

可測晶片直徑

    140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);    

恒流源

    電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;    

四探針探頭基本指標(biāo)

    間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);    

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

    (見探頭附帶的合格證)    

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

    0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字    

整機(jī)測量最大相對誤差

   (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%    

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    ≤4%    

測試標(biāo)準(zhǔn)

   采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),兩套軟件可同時(shí)使用。    

軟件功能

   軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。    

計(jì)算機(jī)通訊接口

    并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;    


   



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