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高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)
  • 高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)
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貨物所在地:浙江杭州市

地: 杭州市富陽(yáng)區(qū)

更新時(shí)間:2025-03-07 10:03:45

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高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)是一款適用于科研實(shí)驗(yàn)的小型精密?chē)娡繖C(jī),采用FUNSONIC超聲波噴涂技術(shù),用于高均勻度的亞微米及納米級(jí)薄膜涂覆,廣泛應(yīng)用于燃料電池、太陽(yáng)能電池、玻璃鍍膜、電子電路等行業(yè)。

60K 桌面型

 

60K 寬噴型

高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)簡(jiǎn)介:

    在傳統(tǒng)的高速旋涂無(wú)法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中,高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比,采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì),特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時(shí),離心旋涂無(wú)法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜,而沒(méi)有過(guò)多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實(shí)證明,使用超聲技術(shù)進(jìn)行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法,從而減少了因金屬過(guò)度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障。

 

噴嘴:

噴嘴由高強(qiáng)度鈦合金和其他專有金屬制造,使它們特別耐化學(xué)腐蝕,并提供*的聲學(xué)性能。我們提供類型有:長(zhǎng)嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴。

 

優(yōu)勢(shì):

1、在MEA制造中證明了鉑的利用率高達(dá)90%。

2、高孔涂層非常耐用,防止催化劑層開(kāi)裂或剝落。

3、可減少50%的材料消耗,減少過(guò)噴,節(jié)省昂貴的催化劑墨水。

4、清潔, 的噴霧模式,易于成型各種圖案。

5、高度可控的噴霧,產(chǎn)生可靠一致的結(jié)果。

6、不堵塞的霧化噴霧,不會(huì)偏離軌跡。

7、超低流量能力,可間歇或連續(xù)噴涂。

8、超聲振動(dòng)不斷地打破團(tuán)聚的顆粒,使其均勻分散,使鉑的利用率 化。

9、能夠用非常小的液體樣品(只需10ml的催化劑溶液涂覆多個(gè)PEM)。適用于研發(fā)階段。

10、對(duì)PEM有及好的粘附性,于高振動(dòng)燃料電池應(yīng)用,如汽車(chē)零部件。

 

服務(wù):

    我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器。我們也隨時(shí)為您提供滿意的加工定制服務(wù)并為您提出 解決方案。

 

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