手持式光譜儀主要由X光管、探測器、CPU以及存儲器組成，由于其便攜具有高效、便攜、等特點，使其在合金、礦石、環境、消費品等領域有著重要的應用。
手持式光譜儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。手持式光譜儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
一般情況下手持式光譜儀光強值下降，原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
手持式光譜儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要我們檢查真空泵及清洗鏡片。
另外手持式光譜儀用久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。
手持式光譜儀在使用前后需注意的事項
1、清潔手持式光譜儀表面臟物或塵土時，先吹再擦(柔軟紗布)。
2、在操作時，嚴禁刪除設備的任何程序、文件夾、文檔，嚴禁使用帶病毒USB驅動器(U盤)。
3、該設備為使用X射線，在測量時，不要把儀器指向任何人。也不要把身體某個部位暴露在光束中。
4、在清潔無塵的環境更換窗口膜片，防止灰塵進入檢測器窗口。
5、設備中的X射線管與探測器為精密元件，嚴禁磕碰撞擊儀器。
6、不可擠壓電腦屏幕。
7、專人專管。設備要存放在干燥環境中。不要把儀器長時間置于陽光下存放，以防損壞液晶顯示器，禁止置于有霧，液體或腐蝕性溶劑的環境中。
8、無論何時，禁止把任何物體插入檢測器內(造成探測器損壞，質保失效)。
9、電池充電電壓為220V交流電。嚴禁使用380V交流電。不要用其它充電器給電池充電。禁止拆解電池。
10、電池長時間貯存，則需每年充電一次。
