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X射線膜厚儀的日常維護 ，除了需要遵循一般電氣設備的常規維護方法（例如 ：電氣連接情況、主要電源電壓的檢查、各個開關的操作是否有效），這里主要討論針對測厚儀的維護。
X射線膜厚儀的每天檢查
1）循環水。循環水恒溫設備主要給射線源提供相對恒定的溫度環境。射線源的溫度波動將直接導致射線能量的變化 ，致使測量結果波動。循環水溫度一般設定在 20℃ ±1℃。注意檢查循環水的回水流量、水溫是否正常。檢查回水流量要實際查看回水管出水口的水流情況 ，不能依據測厚儀沒有水流報警就斷定冷卻水正常—水流開關總有損壞的時候（比如 ，銹蝕、因某種原因卡住了）。如果回水量明顯減小了 ，應考慮水路是否有堵塞或漏水。為防止產生水垢堵塞、銹蝕管路 ，應使用純凈水灌裝水箱。
2）壓縮空氣。壓縮空氣的用途主要是吹掃射線束內的雜物、油霧等 ，如果壓力不足 ，會使吹掃效果下降 ，影響測量結果。還有的測厚儀使用氣缸驅動標樣和快門。點檢設備時應檢查空氣壓力是否符合設計要求 ，濾芯是否需要更換。
3）C 型架上告警燈的狀態。告警燈的狀態應正確 ，否則說明測厚儀存在某種故障。從安全的角度考慮 ，即使確認測厚儀沒有功能上的故障 ，僅僅是燈泡損壞 ，也應及時更換 ，以防止意外的輻射傷害。
4）射線窗口和探頭窗口。目視檢查射線窗口和探頭窗口 ，如有破損應及時更換窗口材料。軋制過程產生的油霧中含有粉狀物（金屬粉末、硅藻土粉末等），凝結在窗口上會產生油泥 ，相當于在射線束中插入了一層異物。油泥厚到一定程度 ，會使探頭電壓明顯下降 ，影響測量精度 ，因此好每天擦拭這兩個窗口 ，保持清潔。
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