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HYDAC壓力傳感器HDA4745系列使用方法
閱讀：1445 發布時間：2018-11-20
賀德克HYDAC壓力傳感器在測試或控制系統中處于*，對微壓力傳感器獲取的信號能否進行準確地提取、處理是衡量一個系統可靠性的關鍵因素。后續接口電路主要指信號調節和轉換電路，即能把傳感元件輸出的電信號轉換為便于顯示、記錄、處理和控制的有用電信號的電路。由于用集成電路工藝制造出的賀德克HYDAC壓力傳感器往往存在：零點輸出和零點溫漂，靈敏度溫漂，輸出信號非線性，輸出信號幅值低或不標準化等問題。壓力傳感器是由電阻應變片組成的測量電路和彈性敏感元件組合起來的傳感器。當彈性敏感元件受到壓力作用時，將產生應變，粘貼在表面的電阻應變片也會產生應變，賀德克HYDAC壓力傳感器表現為電阻值的變化。這樣彈性體的變形轉化為電阻應變片阻值的變化。
賀德克HYDAC壓力傳感器電阻應變片按照橋路方式連接，兩輸入端施加一定的電壓值，兩輸出端輸出的共模電壓隨著橋路上電阻阻值的變化增加或者減小。一般這種變化的對應關系具有近似線性的關系。找到壓力變化和輸出共模電壓變化的對應關系，就可以通過測量共模電壓得到壓力值。當力作用于硅晶體時，晶體的晶格產生變形,賀德克HYDAC壓力傳感器使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關。硅的壓阻效應不同于金屬應變計，賀德克HYDAC壓力傳感器前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。
賀德克HYDAC壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器，它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴散4條P雜質電阻條,并接成全橋，賀德克HYDAC壓力傳感器其中兩條位于壓應力區，另兩條處于拉應力區，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。