根據我國《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法》（GB/T16157-1996）和《固定源廢氣監測技術規范》（HJ/T397-2007）中相關規定，排氣中水分含量應根據不同的測量對象選用冷凝法、重量法或干濕球法中的一種方法測定。冷凝法和重量法需在煙道內抽取一定體積的排氣，使之通過冷凝器或裝有干燥劑的吸濕器，間接測量排氣中的水分含量。而干濕球法則根據非飽和的氣體中含濕量與干濕球溫差之間存在函數關系，通過測量干球溫度和濕球溫度確定氣體含濕量。但這三種方法在實際采樣中都不很理想。重量法、冷凝法雖然測量精度高，但測試復雜，測試條件要求高，測試時間長，適用于測量度要求較高的執法監督測量。干濕球法測試簡單，但在煙氣溫度過高（260℃）、煙氣流速過高或過低、含高濃度的顆粒物、排放酸性氣體的工況，不能用其進行測量，因此，干濕球法通常用于大氣濕度測量。此外，冷凝法、重量法及干濕球法均為手工測量，無法滿足煙氣水分動態在線測量的要求。
便攜式煙氣濕度儀主要有干濕氧法和阻容法。干濕氧法通過氧化鋯檢測器測定煙道的濕氧含量和在煙氣分析儀中內置的氧傳感器測定的經脫水后的干氧含量，根據標準換算方法可得到煙氣濕度,具有操作簡便、無需溫度穩定的優勢。但值得注意的是，現場無法提供同一測點的標準干氧，測量準確性存在一定偏差。同時依據氧化鋯的物理特性，如遇到工藝樣氣溫度猝然變冷，或含有大量水蒸氣時鋯管容易炸裂，且不宜測量含有還原性氣體的高溫煙氣，大大限制其在現場應用。
基于阻容法開發的煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測量中應該為廣泛、成熟的技術，其測量原理是依據煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數關系，直接測量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測量靈敏，方法簡單，對其他氣體無交叉干擾的優點。阻容法測量煙氣濕度具有廣闊的發展前景。但其在高溫、強腐蝕性煙氣測量中需要注重對測量探頭的保護。
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