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標(biāo)樂Buehler 金相制樣
徠卡Leica 顯微鏡
徠卡Leica 電鏡制樣
威爾遜
形創(chuàng) 三維掃描測量
萊馳RETSCH 粉碎、研磨、篩分
麥奇克萊馳MICROTRAC MRB 粒度粒形分析儀
埃爾特ELTRA 碳 / 氫 / 氧 / 氮 / 硫元素分析儀
卡博萊特蓋羅Carbolite Gero 高溫箱爐
鼎竑離子減薄
EM科特 臺式掃描電鏡
美墨爾特
微曠 高性能原位X射線CT
英斯特朗Instron 力學(xué)測試
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島津Shimazu 表面分析
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島津Shimadzu 無損檢測
TQC /SHEEN涂料測試
其他設(shè)備
金相切片耗材

應(yīng)用案例 | 電鏡樣品制備之IC芯片

時(shí)間:2024-4-7閱讀:450
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本文采用徠卡三離子束切割儀TIC 3X的旋轉(zhuǎn)拋光樣品臺制備IC芯片。文中樣品很好地說明了徠卡三離子束切割儀中旋轉(zhuǎn)拋光平臺的概念。即使遇到直徑達(dá)38 mm的樣品的時(shí)候,表面能處理的區(qū)域也能達(dá)到30 mm。離子束拋光程度如何取決于之前的機(jī)械拋光,因此建議在離子束拋光前的機(jī)械拋光盡量做得好一些,在50倍的光鏡下看不見劃痕為宜。

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