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如何設置掃描電鏡(SEM)的參數設置(一)

時間:2024/9/25閱讀:639
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掃描電鏡(SEM)的參數設置對于獲得高質量的圖像至關重要。以下是一些主要的參數設置及其影響:






加速電壓






- 加速電壓決定了電子束的能量,進而影響圖像的分辨率和深度。較高的加速電壓可以產生更高的能量電子束,使樣品表面更容易被穿透,從而獲得更深入的圖像細節。然而,過高的電壓可能會損壞樣品。


  - 需要注意的是,高加速電壓在SE(二次電子)模式下對樣品表面結構細節的分辨能力會降低,而低加速電壓則更適用于表面成像。


如何設置掃描電鏡(SEM)的參數設置(一)
如何設置掃描電鏡(SEM)的參數設置(一)

20kV 10000X SE /10kV 10000X SE








探針電流






- 探針電流是指電子束在掃描過程中的強度。較高的探針電流能夠提供更多的電子,從而增強信號強度并減少圖像噪音。然而,過高的探針電流可能會導致樣品的燒損和退火。








物鏡光闌






- 物鏡光闌用于減少或排除外來(散射)電子,以獲得高分辨率的圖像。光闌的選擇和調整會影響電子束的直徑和圖像的分辨率。


  - 在高倍率圖像觀察時,物鏡光闌必須合軸以消除像散。


請注意,不同的電鏡設備即使參數相同,成像效果也可能會有差異。因此,為了確定樣品成像的最佳設置,需要進行實踐操作和反復調整。此外,對于某些特定的樣品或研究目的,可能還需要進行額外的樣品處理或參數優化。

以上信息僅供參考,具體操作時應遵循設備的使用說明書和實驗室的安全規范。


如何設置掃描電鏡(SEM)的參數設置(一)

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