耶拿等離子體質譜儀根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進入四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。
該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。
耶拿等離子體質譜儀的基本原理：
樣品進行分析時一般經過以下四步：
1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進入由射頻能量激發的處于大氣壓下的氬等離子體中心區；
2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；
3）部分等離子體經過不同的壓力區進入真空系統，在真空系統內，正離子被拉出并按其質荷比分離；
4）檢測器將離子轉化為電子脈沖，然后由積分測量線路計數；
電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關，通過與已知的標準或參比物質比較，實現未知樣品的痕量元素定量分析。
耶拿等離子體質譜儀的日常維護：
1、根據樣品情況和頻次經常清洗霧化器、炬管及錐，檢查廢液瓶，傾倒廢液，檢查、添加、更換循環冷卻水。根據【IF/BK真空度】數值判斷截取錐狀況，界面系統真空高于500Pa時需要維護。
2、每年或每半年（根據開機時長）清洗離子透鏡，更換機械泵泵油，更換氣體管路，更換密封O環，更換廢液管，檢查/更換機械泵油過濾器。
3、在高溫和潮濕天氣，應常開空調或除濕機降低房間內的溫度和濕度，保持儀器性能穩定；如使用頻率不高時，應經常開啟儀器，讓儀器運行一段時間。
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