Agilent等離子體質譜儀工作原理是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。
該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。
性能優點：
（1）通過譜線的質荷之比進行定性分析；
（2）通過譜線全掃描測定所有元素的大致濃度范圍，即半定量分析，不需要標準溶液，多數元素測定誤差小于20%；
（3）用標準溶液校正而進行定量分析，這是在日常分析工作中應用較為廣泛的功能；
（4）同位素比測定是ICP-MS的一個重要功能，可用于地質學、生物學及中醫藥學研究上的追蹤來源的研究及同位素示蹤。
Agilent等離子體質譜儀的組成及工作條件：
1、ICP-MS由ICP焰炬，接口裝置和質譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態，必須設置各部分的工作條件。
2、ICP工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。ICP功率一般為1KW左右，冷卻氣流量為15L/min，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調節載氣流量會影響測量靈敏度。樣品提升量為1ml/min。
3、接口裝置工作條件：ICP產生的離子通過接口裝置進入質譜儀，接口裝置的主要參數是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調整兩個錐孔的距離和對中，同時要調整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。
4、質譜儀工作條件：主要是設置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子。進行定量分析時，質譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質量，同時還要有合適的倍增器電壓。
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