數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量

時間：2018/5/4閱讀：1178

數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量，按照標(biāo)GB/T1553及SEMI MF-1535用頻光電導(dǎo)法研制出了數(shù)字式少子壽命測試儀。

該設(shè)備是按照家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載子壽命測定的頻光電導(dǎo)衰減法”制。頻光電導(dǎo)衰減法在我半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整器件、核探測器行業(yè)已運用了三十多年，積累了豐富的使用經(jīng)驗，經(jīng)過數(shù)次十多個單位巡回測試的考驗，證明是種成熟可靠的測試方法，別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量；也可對硅片行測量，給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面，制樣簡便。

數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀有以下點：

1、可測量太陽能多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載子體壽命。表面拋光，直接對切割面或研磨面行測量。同時可測量多晶硅檢驗棒及集成電路、整器、晶體管硅單晶的少子壽命。

2、可測量太陽能單晶及多晶硅片少數(shù)載子的相對壽命，表面拋光、鈍化。

3、配備用軟件的數(shù)字示波器，液晶屏上直接顯示少子壽命值，同時顯示動態(tài)光電導(dǎo)衰退波形，并可聯(lián)用打印機及計算機。

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