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ICP光譜分析的樣品處理是分析全過程的一個重要環節，對分析測試質量有重要影響，某些分析質量問題是產生在樣品處理過程。ICP光譜分析對樣品處理的要求，除了一般分析技術對樣品處理的要求外，還有其特特殊要求。一般分析技術都要求樣品處理需把待測物全部轉化進入溶液，過程不得損失待測物質，也不得帶進待測物質引起樣品的污染，消解后的樣品溶液應該較長時間內是穩定的。
對于ICP光譜分析除了上述三項外還應滿足下述要求：
（1）把樣品轉變成最佳分析狀態；清亮透明；
（2）不能存在粒徑≥50pm的固形物，盡管這些固形物不含有待測元素，也不允許存在，微米級的固形物將堵塞進樣系統的霧化器，造成譜線強度降低及精密度下降，甚至*無法進樣：因為ICP光譜儀器的通用同心霧化器的進樣毛細管內徑只有0.001mm左右。
（3）樣品溶液不允許有體形態物存在，微克級的膠體物質用肉眼觀察不到，但進樣時很容易積累在霧化器毛細管噴口內，降低進樣量，影響譜線強度；
（4）要求樣品溶液中的固形物（又稱可溶性總固體）濃度W10mg/ml，也就是要限制稱樣量，或者增加稀釋倍數，是進樣溶液含可溶性鹽類不能過高，較高的可溶性鹽類造成樣品液粘度增加，影響進樣，或者沉積在霧化器的噴口，造成噴霧不正常。
（5）不含能有腐蝕進樣系統的物質存在，這里主要是指氫氟酸或氟離子，除了光譜儀配用是耐氟經驗系統及耐氟炬管。多數進樣系統是玻璃或石英制品，不能抗氫氟酸腐蝕，石英炬管中心管也易被氫氟酸腐蝕。
（6）消解后的樣品水溶液不宜含顯著量的有機物質，有機物在等離子體中要影響等離子體穩定性，影響溫度，從而影響譜線強度及光譜背景。
ICP光譜分析的樣品處理方法常用的樣品處理方法濕法處理：
（1）濕法開放酸溶，濕法開放堿溶；
（2）高壓密閉酸溶
（3）微波高壓酸消解
（4）微波高壓堿溶；高溫熔融；高溫灰化