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XRD-X射線衍射儀-單晶硅定向儀(Freiberg-Omega/Theta)
  • XRD-X射線衍射儀-單晶硅定向儀(Freiberg-Omega/Theta)
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貨物所在地:上海上海市

地: 德國

更新時間:2025-05-20 15:25:01

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弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案,我們專注于超高速和準確的Omega掃描方法,可在幾秒鐘內確定完整的晶體取向??商砑佣S(X-Y)或三維掃描,全自動化的搖擺曲線測量,使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質量控制環節中一個重要組成部分。

弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案,我們專注于超高速和準確的 Omega掃描方法,可在幾秒鐘內確定完整的晶體取向??商砑佣S(X-Y)或三維掃描,全自動化的搖擺曲線測量,使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質量控制環節中一個重要組成部分。

 

?應用范圍

作為快速、簡單、可靠的X射線單晶定向儀,弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應用于工業生產的質量控制、材料研發等領域,主要用于超高速晶體定向和搖擺曲線的測量。

 

?應用技術

  • 可用于生產的立式XRD
  • 轉移技術:可高效率進行多個鑄錠同時定向(堆疊)
  • 同時測定(Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料)幾乎所有晶體方向取向。
  • 快速測量晶體取向,測量時間僅需5秒,精度:0.003°
  • 自動晶片分類和處理
  • 搖擺曲線測量和3Dmapping繪圖 、晶圓表面翹曲度偏差檢測
  • 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
  • 設備操作簡單、快捷、方便,適用于各研究機構和全自動化生產線

 

?應用實例

案例1:

藍寶石取向 mapping、搖擺曲線測量:窄反射峰=表面質量好

 

案例2:

SiC 取向 mapping、搖擺曲線測量:寬反射峰=晶體表面局部干擾

 

案例3:

碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差mapping

 

2.表面傾斜偏差mapping

 

3.垂直方向傾斜偏差mapping

 

4.水平傾斜偏差mapping

 

 

5.搖擺曲線mapping

 

 

 

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