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?公司簡介
--Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
--2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
--Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。
?產品介紹
--德國Freiberg儀器的MDPspot（MDPspot臺式單點壽命檢測儀--少子壽命）是一臺低成本的臺式少子壽命測量系統，對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。沒有內置自動化?？蛇x配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。
--MDPspot（MDPspot臺式單點壽命檢測儀--少子壽命）可配電阻率測試選項，常規僅適用于硅，也可用于沒有高度調整可能性的晶圓片以及晶錠，不過需對這兩個選項之一進行預定義。
--MDPspot配備結果可視化的標準軟件。
?設備特性
--無接觸和非破壞的電學參數測試；
--對外延工藝監控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的高分辨率；
--對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項。
?產品優勢
--用于不同制備階段，從成體到終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置；
--體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結果可視化；
--適用于晶圓片到晶錠，易于高度調整；
?技術參數
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