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上海昊量光電新推出，具有結構緊湊，一體化計算機控制，長使用壽命，靈活的定制化參數等特點，已廣泛應用于激光加工，角膜屈光手術，心臟，靜脈動脈手術等領域。
應用領域：
光纖衍射結構制造
材料加工
激光視力矯正/角膜屈光手術
冠狀動脈手術
脈沖激光沉積
產品參數（其它參數可咨詢定制）：
CL5000系列技術參數：
| 型號 | ArF | KrF | XeCl |
| 波長 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
| 管材料 | 陶瓷 | ||
| 預電離 | 電暈處理技術 | ||
| 標準脈沖能量 | 20 mJ | 40 mJ | 25 mJ |
| 平均功率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 2 W 4 W 5 W | 4 W 7 W 10 W | 2.5 W 4.5 W 6.5 W |
| 重復頻率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 100 Hz 200 Hz 300 Hz | ||
| 脈寬 | 8-10 ns | 9-11 ns | |
| 脈沖能量穩定度 | sigma < 2% | ||
| 光斑尺寸 | 5 x 12 mm | 6 x 12 mm | |
| 光束發散角 | 2 x 4 mrad (stable resonator) | ||
| 時間抖動 | < 2 ns | ||
| 尺寸, (重量) | 800L x 330W x 571H мм (80 kg) | ||
| 冷卻 CL 5100 CL 5200/5300 | 風冷 水冷（水流< 1L/min） | ||
| 電源 | 220V / 50Hz, 10А, 不超過1000 VA | ||
| 氣體 | 1 premix cylinder | ||
| 控制接口 | RS 232, DOS/Windows | ||
CLS-5000系列技術參數：
| 型號 | ArF | KrF | XeCl |
| 波長 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
| 重復頻率 | 500 Hz | ||
| 脈沖能量 | 15 mJ | 25 mJ | 12 mJ |
| 能量穩定性 | sigma < 2% | ||
| 光束尺寸 (V x H) | 6 mm x 3,5 mm | 6 mm x 4 mm | 6 mm x 4 mm |
| 光束發散角 (V x H) | 2 mrad x 1 mrad | ||
| 脈寬 | 11 ns | 12 ns | 12 ns |
| 產品尺寸（長*寬*高） | 887mm х 336mm х 454mm | ||
| 重量 | 85KG | ||
| 功耗 | 220V, 50Hz, 1kW | ||
| 冷卻 | water < 1 liter/min | ||
| 氣體 | 1 premix cylinder | ||
| 操作系統 | RS 232, Windows | ||
CL7000系列技術參數：
| 型號 | ArF | KrF | XeCl |
| 波長 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
| 管材料 | 陶瓷 | ||
| 預電離 | 火花 | ||
| 標準脈沖能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
| 平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100 | 5 W 10 W 20 W | 8 W 20 W 35 W | 6 W 15 W 25 W |
| 重復頻率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Hz 50 Hz 100 Hz | ||
| 脈寬 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
| 脈沖穩定度 | sigma < 2% | ||
| 光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
| 光束發散角 | 1.5 x 4.5 mrad | ||
| 時間抖動 | < 2 ns | ||
| 尺寸, (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) | ||
| 冷卻 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 風冷 水冷（水流< 1L/min） 水冷（水流< 3L/min） | ||
| 功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA 220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA 380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA | ||
| 氣體 | 1 premix cylinder | ||
| 控制接口 | RS 232, DOS/Windows | ||
可選功能：
1 、1000Kz型號可選
2、窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1
3、 F2，157nm型號可選
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