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皮米精度位移測量儀
昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器，達到了*50pm的重復精度。quDIS支持三個測量通道，使其可以適用于任意多軸測量應用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法，不過與傳統激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現其它設備所不具有的距離測量。因此，皮米精度位移測量儀不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中得到。
干涉傳感頭
根據反射目標的不同，所有應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖的，除了標準準直儀和已建立的聚焦頭，quDIS還為惡劣環境下的應用程序設計了特殊的頭。
用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計
鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準直頭
產品關鍵特性：
信號穩定性：< 0.05nm
距離測量
0.1——20m工作距離
工作帶寬25kHz
目標速度1m/s
3個傳感頭，多設備同步
應用領域：
干涉距離測量
振動分析
束線中斷補充
間隙和邊緣測量
環境振動分析
位移臺精度評估
皮米精度位置測量儀參數列表：
| 干涉儀 | 傳感頭 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <400uW | 信號穩定性 | < 0.05nm |
| 波長 | 1535nm | 距離穩定性 | <200nm |
| 線寬 | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
| 傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 0.1—20m |
| 光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標速度 | <1m/s |
| Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
| 同步 | 多臺設備同步 | 低溫 | |
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