半導(dǎo)體專用螺桿真空泵

螺桿真空泵性能特點：

1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空

2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況

3、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體

4、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。

5、水溫對真空影響小，節(jié)水達(dá)90%以上，甚至可以不耗水。

6、不耗油，無滴漏

7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦，可高速運轉(zhuǎn)，整機(jī)體積小

8、結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。

9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。

10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組

螺桿真空泵，選東莞市普諾克真空科技有限公司，創(chuàng)新/高效/高可靠性

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最大限度降低能耗成本，更強(qiáng)的動力

創(chuàng)新智能螺桿真空泵，生命周期成本低廉

參數(shù)：

型號：PNK DSP 0600

額定流量：600m³/h

極限壓力：1Pa

電機(jī)功率：18.5kw

轉(zhuǎn)速：2900/3500rpm

噪音：78dB(A)

吸氣口：100mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

干式螺桿真空泵原理：

在干式螺桿真空泵壓縮是由內(nèi)部體積收縮來實現(xiàn)。干式螺桿真空泵由兩個計數(shù)旋轉(zhuǎn)螺桿，一個具有左旋螺紋，另一個右螺紋。兩個螺桿同步旋轉(zhuǎn)在壓縮室與無摩擦，無接觸和很窄的間隙，這是由一個精確的齒輪實現(xiàn)。由于這兩個螺絲跟吸氣口的空間被擴(kuò)大，相反旋轉(zhuǎn)時，氣體流入腔室。從吸入側(cè)到壓力側(cè)螺桿的軸向運動，使腔室內(nèi)部的氣體進(jìn)行壓縮，同時帶來了越來越多的氣體。在壓力側(cè)越來越氣體移動靠在殼體壁和體積收縮直到它打開時，壓縮氣體然后通過出口排出的壓力通道。在此過程中，冷卻是通過一個水冷外室完成。對于一些型號的泵，水和空氣的雙重冷卻系統(tǒng)配備。

螺桿真空泵安全使用：

螺桿真空泵在使用過程中，應(yīng)該注意檢查、操作及保養(yǎng)項目，確保螺桿泵能正常高效的工作。

首先，檢查螺桿真空泵及管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動螺桿泵，試看螺桿泵是否靈活。

其次，向螺桿泵軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處潤滑油應(yīng)及時更換或補(bǔ)充。

再有，點動螺桿泵電機(jī)，試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。

最后，盡量控制螺桿式真空泵的流量和揚程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證螺桿泵在有效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得最大的節(jié)能效果。

半導(dǎo)體專用螺桿真空泵