測量范圍

Z軸（垂直）

320μm(Ra=80μm)

X軸（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

0．08μm/±160μm

測量項目

參數

Ra、Rq、Rz、Rt、Rp、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、RSk、R3z、Rmax、Rpc、Rmr、Rku、RΔa、RΔq、Rδc、Ry；Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、V0

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

粗糙度輪廓，支承率曲線，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln=lr×nn=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

紅寶石，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,Vt=0.15mm/s

lr=0.8,Vt=0.5mm/s

lr=2.5,Vt=1mm/s

返回Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內置鋰聚合物充電電池，用8.4V,800mA充電器充電

外形尺寸

112×50×47mm

重量

約360g

標準配置

1

MR200主機

1

2

標準傳感器

1

3

示值校準樣板

1

4

充電器

1

5

數據線

1

6

遙控器

1

7

一字改錐

1

8

樣板墊板

1

9

使用說明書

1

10

裝箱單

1

11

合格證

1

12

保修卡

1

可選配置

1

藍牙打印機

1

2

打印紙

1