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FS LINE采用大型掃描儀和大型水槽，可應對FineSAT系列裝置不能應對的大型對象物（如FPD、面向太陽能電池的濺鍍靶材、陶瓷零部件等不斷大型化的材料、零部件）的檢查。
除了單焦點探頭用的FS LINE以外，還準備了同時使用單探頭和陣列探頭，可以縮短大型對象物的檢查時間的FS LINE Hybrid。
同時，作為選購件，還準備了用于檢查筒狀/圓柱狀對象物的表面的旋轉臺。關于水槽和掃描儀尺寸，也請隨時咨詢。

特點、規格
FS LINE能進行高精度的測定，還擁有基于FineSAT的使用方便性，並重視安全性。
FS LINE Hybrid在低頻范圍的陣列探頭上實現了高阻尼化。 這樣，可同時進行靶材和背板的接合檢查和靶材內部的孔隙檢查。
而且，單焦點探頭難以檢查的邊緣斜面用斜角電子掃描也可進行檢查。

掃描儀有效掃描范圍

有效掃描范圍：750×800；1,550×2,000；4,000×2,000（単位：mm）