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上海西努光學科技有限公司

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原子力顯微鏡是怎么測得樣品成像的?

閱讀:272      發布時間:2022-8-29
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  原子力顯微鏡是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。
  當使用原子力顯微鏡對樣品成像時,*端與樣品接觸,樣品沿x-y網格進行光柵掃描。常見的是,在掃描過程中使用電子反饋回路來保持探針樣品力常數。該反饋回路以懸臂偏轉為輸入,其輸出控制探針支架和樣品支架之間沿z軸的距離。只要*端與樣品保持接觸,并且樣品在x-y平面上掃描,樣品的高度變化將改變懸臂的偏轉。然后,反饋調節探頭支架的高度,使偏轉恢復到用戶定義的值(設定點)。適當調整的反饋回路在掃描運動期間連續調整支架-樣品分離,使得偏轉保持近似恒定。在這種情況下,反饋輸出等于樣品表面形貌,誤差很小。
  西努提供的Park XE15原子力顯微鏡提供的流程如下:
  1.記錄用戶定義的多個掃描位置
  2.在第一個掃描位置成像
  3.提升懸臂
  4.將電動樣品臺移至下一個用戶定義坐標
  5.探針接近
  6.重復掃描
  記錄多個掃描位置十分簡單,您可以輸入樣品-樣品臺坐標或使用兩個參考點校正樣品位置。該自動化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作,極大提高了生產力。

 

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