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日立掃描電鏡能譜分析小技巧

閱讀：729 發(fā)布時(shí)間：2021-7-15

　　日立掃描電鏡是利用精細(xì)聚焦的電子束照射在樣品表面，電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電子、特征X射線等不同能量的光子，這些信號(hào)經(jīng)相應(yīng)的探測(cè)器接收，用于研究各種材料的微觀形貌;配上能譜儀、波譜儀等附件，可對(duì)材料元素成分進(jìn)行分析。

　　日立掃描電鏡的附件常見(jiàn)的是X射線能譜儀，在各種材料的分析中起著*的作用。

　　日立掃描電鏡結(jié)合能譜儀使用，能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量E，能能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。

　　能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過(guò)程，樣品的導(dǎo)電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此，在定量分析的過(guò)程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據(jù)庫(kù)及標(biāo)準(zhǔn))，我們無(wú)法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法)，這些因素都會(huì)導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。

　　那么，掃描電鏡除了可以利用能譜分析能夠根據(jù)襯度變化判斷元素在不同位置的富集程度，還能判斷微量元素的分布。這里我還要交給大家一個(gè)小技巧：能譜使用前要校準(zhǔn)，要使樣品平整，分析區(qū)域均質(zhì)、無(wú)污染，還要讓樣品導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性良好。

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