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掃描電子顯微鏡，英文名稱為SEM，是scanningelectronmicroscope的簡寫。掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展，不僅實現(xiàn)了數(shù)字化圖像，而且電鏡所有的功能都已經(jīng)實現(xiàn)了數(shù)字化控制。現(xiàn)代掃描電鏡電器控制系統(tǒng)高度集成化，掃描電鏡結(jié)構(gòu)越來越緊湊，自動化功能越來越高，極大改善了人機操作環(huán)境。

掃描電子顯微鏡的工作原理：

掃描電鏡主要是利用二次電子成像，它工作原理是這樣的：從電子槍燈絲發(fā)出的直徑約20～35μm的電子束，受到陽極1～40kV高壓的加速射向鏡筒，并受到*、二聚光鏡和物鏡的匯聚作用，縮小成直徑約幾十埃的狹窄電子束射到樣品上。與此同時，偏轉(zhuǎn)線圈使電子束在樣品上作光柵狀的掃描。電子束與樣品相互作用將產(chǎn)生多種信號，其中zui重要的是二次電子。由于控制鏡筒入射電子束的掃描線圈的電路同時也控制顯像管的電子束在屏上的掃描。用這種方法就如電視機屏上的像一樣，一點一點，一線一線地組成了像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標本表面發(fā)射出次級電子，標本在固定、脫水后，要噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。

掃描電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于生物、醫(yī)學、動物、材料、化學等領(lǐng)域。