高靈敏度三軸加速度傳感器，在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實現工作的，加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態，必須測得其三個坐標軸上的分量；另一方面，在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實現雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。

1、設備振動測量：高靈敏度系列集成加速度傳感器廣泛應用于各行業設備運行狀態監測。設備運行時的振動量是估量設備運行是否正常的重要指標。該傳感器可以測量從直流到2kHz的振動量，輸出信號經濾波、檢波，對設備的振動大小給出精直觀的指示。

2、沖擊測量：大量應用于汽車安全氣囊和安全帶系統中。撞車時，傳感器受到沖擊，能在1 ms內輸出一個幅度比例于沖擊加速度的脈沖信號，當沖擊加速度達到一定值時，該信號將使安全氣囊爆發或使安全帶鎖緊，以保護乘車人的生命。

3、傾斜角測量:當傳感器傾斜放置時，傳感器的輸出為重力加速度在傳感器測量軸上的分量，即輸出與傾斜角存在反正弦的函數關系。當傾斜角較小時，近似為線性關系。