自動橢圓偏振測厚儀  型號：TPY-2

自動橢圓偏振測厚儀

儀器介紹
采用消光法自動控制，自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度和靈敏度更高等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
規格參數
測量范圍薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測量厚度**小示值（nm）≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
偏振器步進角0.014°/步
測量膜厚（nm）±1
折射率重復性精度±0.01
度盤刻度每格1度
儀器測量精度（nm）±0.5（薄膜厚度在10-100nm時）
入射角調節范圍20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm）632.8
光學中心高（mm）80
允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*320
主機重量（kg）28 

儀器測量精度（nm）±0.5（薄膜厚度在10-100nm時）
入射角調節范圍20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm）632.8
光學中心高（mm）80
允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*320
主機重量（kg）28 配置表