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大連巨華機械設(shè)備有限公司

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介紹一下大理石平臺00級精度的標準是多少~

2025-3-7  閱讀(186)

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大理石測量平臺00級精度標準依據(jù)GB4987-85標準,其平面度公差為**2×(1+d/1000)um**,其中d為對角線長度,單位為毫米。這種高精度的花崗巖測量平臺具有多種優(yōu)點:

1. **物理性能**:經(jīng)過嚴格的物理試驗和精選的花崗巖材料,晶體細膩,質(zhì)地堅硬,抗壓強度達到2290-3750 kg/cm2,硬度為6-7級,耐磨、耐酸堿、耐腐蝕、不生銹。

2. **精度高且穩(wěn)定**:花崗巖是非金屬材料,沒有磁反應(yīng),也沒有塑性變形,其硬度比鑄鐵高2-3倍,精度保持良好。即使在使用過程中受到重物撞擊,也只會去除一些石材,精度不會像金屬工具那樣被變形破壞。

3. **適用性強**:花崗巖測量平臺適用于儀器儀表、精密工具、機械制件的精密檢驗,特別是在計量室、機械零部件檢驗、激光所、微電子行業(yè)等領(lǐng)域,作為高精密機械部件及微電子行業(yè)的測量平臺,發(fā)揮著重要作用。

此外,為了確保花崗巖測量平臺的精度性能穩(wěn)定,還需要注意其使用條件,特別是溫度的影響。一般來說,花崗巖測量平臺的測量應(yīng)在20±2℃的溫度下進行,以避免因金屬材料的熱膨脹和收縮特性導(dǎo)致測量結(jié)果不準確。

大理石平臺的000級精度標準是高級別的精度要求,具體如下:

1. **平面度公差**:每平方米不超過±0.005毫米。

2. **表面粗糙度**:Ra值不超過0.01微米。

3. **尺寸公差**:長度、寬度和厚度的偏差不超過±0.01毫米。

4. **垂直度和平行度**:各面之間的垂直度和平行度偏差不超過±0.01毫米。

### 應(yīng)用領(lǐng)域

- **精密測量**:用于高精度測量儀器。

- **光學(xué)設(shè)備**:用于光學(xué)平臺和激光設(shè)備。

- **半導(dǎo)體制造**:用于晶圓檢測和光刻設(shè)備。

### 檢測方法

- **激光干涉儀**:檢測平面度。

- **表面粗糙度儀**:測量表面粗糙度。

- **三坐標測量機**:檢測尺寸和幾何公差。

### 維護要求

- **環(huán)境控制**:需在恒溫、恒濕、無塵環(huán)境中使用。

- **定期校準**:定期使用高精度儀器校準。

- **清潔保養(yǎng)**:避免表面劃傷和污染。

000級精度的大理石平臺適用于對精度要求高的領(lǐng)域,需嚴格維護以確保性能。




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