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真空箱式爐是用高純度綠色六方碳化硅為主要原料，按一定料比加工制坯，經2200℃高溫硅化再結晶燒結而制成的棒狀、管狀非金屬高溫電熱元件。真空箱式爐氧化性氣氛中正常使用溫度可[1]達1450℃，連續使用可達2000小時。
由于真空箱式爐使用溫度高，具有耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便等特點，且有良好的化學穩定性。

真空箱式爐與自動化電控系統配套，可得到精確的恒定溫度，又可根據生產工藝的需要按曲線自動調溫。使用硅碳棒加熱既方便，又安全可靠。現已廣泛應用于電子、真空箱式爐磁性材料、粉末冶金、陶瓷、玻璃、陶瓷、半導體、真空箱式爐分析化驗、科學研究等高溫領域，成為隧道窯、輥道窯、玻璃窯爐、真空爐、馬弗爐、冶煉爐以及各類加熱設備的電加熱元件。