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技術文章

使用安晟美華CVD管式爐注意事項

閱讀:1189          發布時間:2019-2-25

使用安晟美華CVD管式爐注意事項:CVD管式爐分為:真空,開啟式,高溫,氣氛,快速升溫,多溫區,立式,高溫高壓,實驗,管式爐......等等。

  CVD管式爐使用注意事項:

  1.冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐管。

  2.定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。

  3.CVD管式爐使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。

  4.爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正常現象。

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