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傳感器的分類小常識

閱讀:1555        發(fā)布時間:2020-5-4

可以用不同的觀點進行分類:它們的轉換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應);它們的用途;它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。

  根據(jù)傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學傳感器二大類 :

  傳感器工作原理的分類物理傳感器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。

  化學傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應等現(xiàn)象為因果關系的傳感器,被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。

  有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎運作的。化學傳感器技術問題較多,例如可靠性問題,規(guī)模生產(chǎn)的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學傳感器的應用將會有巨大增長。

常見傳感器的應用領域和工作原理列于下表。

1.按照其用途,傳感器可分類為:

壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器

液面?zhèn)鞲衅?能耗傳感器

速度傳感器 加速度傳感器 

射線輻射傳感器 熱敏傳感器

2.按照其原理,傳感器可分類為:

振動傳感器 濕敏傳感器

磁敏傳感器 氣敏傳感器

真空度傳感器 生物傳感器等。

以其輸出信號為標準可將傳感器分為:

模擬傳感器——將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。

數(shù)字傳感器——將被測量的非電學量轉換成數(shù)字輸出信號(包括直接和間接轉換)。

膺數(shù)字傳感器——將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。

開關傳感器——當一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信號。

 

  在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:

(1)按照其所用材料的類別分金屬 聚合物 陶瓷 混合物

(2)按材料的物理性質分 導體 絕緣體 半導體 磁性材料

(3)按材料的晶體結構分單晶 多晶 非晶材料

  與采用新材料緊密相關的傳感器開發(fā)工作,可以歸納為下述三個方向:

(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應和反應,然后使它們能在傳感器技術中得到實際使用。

(2)探索新的材料,應用那些已知的現(xiàn)象、效應和反應來改進傳感器技術。

(3)在研究新型材料的基礎上探索新現(xiàn)象、新效應和反應,并在傳感器技術中加以具體實施。

  現(xiàn)代傳感器制造業(yè)的進展取決于用于傳感器技術的新材料和敏感元件的開發(fā)強度。傳感器開發(fā)的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯(lián)的。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術的、能夠轉換能量形式的材料。

  按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:

  集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器

  集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

  薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。

  厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。

  陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。

  完成適當?shù)念A備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

  每種工藝技術都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

 

  可以用不同的觀點進行分類:它們的轉換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應);它們的用途;它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。

  根據(jù)傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學傳感器二大類 :

  傳感器工作原理的分類物理傳感器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。

  化學傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應等現(xiàn)象為因果關系的傳感器,被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。

  有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎運作的。化學傳感器技術問題較多,例如可靠性問題,規(guī)模生產(chǎn)的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學傳感器的應用將會有巨大增長。

常見傳感器的應用領域和工作原理列于下表。

1.按照其用途,傳感器可分類為:

壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器

液面?zhèn)鞲衅?能耗傳感器

速度傳感器 加速度傳感器 

射線輻射傳感器 熱敏傳感器

2.按照其原理,傳感器可分類為:

振動傳感器 濕敏傳感器

磁敏傳感器 氣敏傳感器

真空度傳感器 生物傳感器等。

以其輸出信號為標準可將傳感器分為:

模擬傳感器——將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。

數(shù)字傳感器——將被測量的非電學量轉換成數(shù)字輸出信號(包括直接和間接轉換)。

膺數(shù)字傳感器——將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。

開關傳感器——當一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信號。

 

  在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:

(1)按照其所用材料的類別分金屬 聚合物 陶瓷 混合物

(2)按材料的物理性質分 導體 絕緣體 半導體 磁性材料

(3)按材料的晶體結構分單晶 多晶 非晶材料

  與采用新材料緊密相關的傳感器開發(fā)工作,可以歸納為下述三個方向:

(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應和反應,然后使它們能在傳感器技術中得到實際使用。

(2)探索新的材料,應用那些已知的現(xiàn)象、效應和反應來改進傳感器技術。

(3)在研究新型材料的基礎上探索新現(xiàn)象、新效應和反應,并在傳感器技術中加以具體實施。

  現(xiàn)代傳感器制造業(yè)的進展取決于用于傳感器技術的新材料和敏感元件的開發(fā)強度。傳感器開發(fā)的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯(lián)的。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術的、能夠轉換能量形式的材料。

  按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:

  集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器

  集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

  薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。

  厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。

  陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。

  完成適當?shù)念A備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

  每種工藝技術都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

 

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