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– 表面形貌、成分分辨
   •   具備接觸、輕敲等多種模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
   •   摩擦力圖像、定量相位圖像
– 表面局域電場力、磁場力和表面電勢：
   •   電場力、磁場力圖像
   •   表面電勢可分辨表面兩點電勢差絕對值，分辨率10mV
– 載流子濃度、氧化層缺陷、局域導電性
   •   掃描電容模塊(SCM)可測量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度、氧化層缺陷等
   •   導電原子力(CAFM) 可測量I/V曲線，表征表面局域導電性。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10nA-1uA
   •   掃描擴展電阻(SSRM)可測量表面電阻分布，表征局域導電性和載流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
   •    可編程控制針尖動作和測量過程，對表面進行納米操縱、刻蝕等