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MEMSMap 510激光多普勒振動測量系統

基于激光的微結構高頻、低振幅振動三維測量系統。

MEMSMap 510還可以測量靜態位移，它可以測量粗糙和光滑的表面，具有微米的空間分辨率。

通過使用長焦距物鏡，MEMSMap 510可以通過窗口和熱過濾器、鏡子以及液體介質進行測量。             

•MEMS和NEMS •微結構 •傳感器

•振動模式分析•響應譜•壓力傳感器•加速度計

•陀螺儀•碰撞傳感器•高溫測量•真空室測量

•熱偏轉測量•老化效應分析             

•汽車工業•傳感器工業•醫療工業•航空航天工業•電子工業•研發•產品測試

MEMSMap 510使用擴展的激光束照亮目標區域，同時通過顯微物鏡將目標成像到CMOS傳感器陣列上。

對于平面外測量，使用內部參考光束干擾目標光。對于平面內測量，兩束激光用于物體照明。

對于振動測量，系統計算機使用信號發生器驅動激勵裝置，目標物體在一個頻率范圍內被激勵。

振動振幅條紋可以實時顯示，同時采用*的記錄算法計算數值振幅和相位圖。

對于靜態撓度測量，光電管技術基于相移來記錄和計算被測物體的靜態撓度。

激光器類型：Nd：YAG/2

激光波長：532nm

CCD分辨率：1936*1216/CMOS

振幅分辨率（數字模式）：0.1nm

振幅分辨率（實時模式）~1nm

3D頻率范圍：0-240MHz

激光多普勒測振儀以其測速精度高、測速范圍廣、動態響應快、非接觸測量等優點在航空航天、機械、生物學、醫學以及工業生產等領域得到了廣泛應用和快速發展。激光測振儀主要應用多普勒效應實現物體的振動測試，利用激光的非接觸測量可實現一些特殊環境下的測試，例如對微電子元件（MEMS），機床高速旋轉軸的徑向跳動及軸向振動以及在高溫腐蝕環境下的測試，實現了傳統的接觸式傳感器在這些應用領域的空白。