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項目

D07-7B 型

D07-7BM 型

D07-7C 型

D07-7CM 型

D07-7K 型

D07-7KM 型

流量規格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

準確度

±1.5 % F.S

±1.5 % F.S

±1.5 % F.S

±1.5 % F.S

±1 % F.S

±1% F.S

線性

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1% F.S

重復精度

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

響應時間

電特性: 10sec;
氣特性:≤4sec

10 sec

電特性: 10 sec;
氣特性: ≤ 4 sec

10 sec

電特性: ≤4sec;
氣特性: ≤4sec

≤4 sec

氣壓降

-

<0.01 MPa

-

<0.01 MPa

-

<0.01 MPa

溫度系數

-

-

-

-

Zero: ≤±0.1% F.S./℃;
Span: ≤±0.2% F.S./℃;

Zero: ≤±0.1% F.S./℃;
Span: ≤±0.2% F.S./℃;

工作壓差范圍

(0.1 ~ 0.5) MPa

-

(0.1 ~ 0.5) MPa

-

(0.1 ~ 0.5) MPa

-

大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa

3 MPa

3 MPa

3 MPa

3 MPa

3 MPa

工作環境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

電源

+15V  50 mA
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

+15 V  50 mA;
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

+15 V  50 mA;
-15V  200 mA

+15 V 50 mA
-15 V 50 mA

重量

1.1 kg

0.92 kg

1.1 kg

0.92 kg

1.1 kg

0.92 kg