美國ZYGO激光干涉儀現場培訓-上海飛機制造有限公司

我司朱經理協同激光干涉儀工廠工程師前往上海飛機制造有限公司進行產品技術培訓，現場為客戶進行產品測量，產品解說及儀器的操作。

系統參數：

◆原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調節

◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡：標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數表

◆視場: 跟所選物鏡有關

◆光源: 長壽命白光 LED，計算機控制光強

◆物鏡座: 螺紋物鏡座（標準）；

◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具（可選）；電控或手動 4 位物鏡塔臺（可選）。

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024

◆樣件觀察: 軟件集成交互式實時觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機頭具有兩種可選安裝高度，以優化工作距離

◆樣品臺控制: USB 控制器，人體工程學設計的拇指控制按鈕，可控制速度和聚焦模式切換

◆安全性: 系統集成緊急制動功能

◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆計算機: 高性能DELL計算機, 寬屏1080P LCD，64位，Windows 7系統

◆軟件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系統：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主機：54Kg; 工作臺：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復性：＜3nm（根據 ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光學分辨率（橫向）：0.52um ～9.50um，與所選物鏡有關

◆掃描速度： ≤ 23 um/秒

◆大數據點： 1,048,576

◆臺階測量： 準確度 ≤ 1%； 重復性≤ 0.1% @ 1σ

被測樣品特性：

◆材料： 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆反射率：1-100%

環境要求：

◆溫度： 15-30℃

◆溫度變化率： ＜1.0°C/15分鐘

◆濕度： 相對濕度 5%-95%，無凝結

◆隔振： 不需要

◆振動準則： VC-C 或有更好的推薦